高速波面Sensor

產品概要:

能即時檢測光源或光學元素的Shack-Hartmann方式波面Sensor 。

最多可檢測到36項的Zernike多項式及Seidel像差係數，以及綜合波面像差，可依任一判定值來做優劣判定 。

另外，也可做干擾帶、2D/3D相位、強度分布、點像強度分布、MTF 等視覺上的判定 。

產品特長:

♦ 動態Range比較大，可測量干涉儀中困難的較大像差。

♦ 因為不受可干涉性之影響，故在各種光源(LD、LED等）及波長下皆可檢測。

♦ 小型、輕量，故可組裝在各種各樣的機器上使用。

♦ 因不易受振動及溫度影響，即使在生產工程中也能穩定檢測。

♦ 可用GigE或USB3.0 Interface做系統構建，簡單容易。

♦ 可配合客戶的用途來提案適合的Sensor或系統。

※與干涉儀相比，因為構成零件數量較少，且光路長度更短，

    因此具有不易受到溫度變化影響的特點。

※可依照欲調整的指標，選擇目標像差（相位圖），並對群組 Lens進行調整。

應用實例:

♦ 各種LD、LED光源之波面像差檢測系統。

♦ 攝像系光學Lens、光學元素等之透光波面像差檢測系統。

♦ 攝像系光學Lens、光學元素（各種鏡面體）等之反射波面像差檢測系統。

♦ 量產工程中之Lens空間光調變器。

♦ 晶圓或Film等之奈米Order波動測量。

♦ 對於加工用光源經時變化的品質管理。

規格表: